Cas pràctic: Avenç en el processament de substrats de vidre de quars
Objecte de processament: substrat de vidre de quars per a fotolitografia
Especificacions:
Material: 99,99% de vidre de quars d'alta puresa-
Característiques de processament: xamfrà-de doble cara C0.2 + paret lateral vertical
Requisits de superfície: Ra < 150 nm (grau de mirall)
Dimensions: 145 × 145 × 5,5 mm ± 0,01 mm
Anàlisi dels problemes de processament de la indústria
Com a consumibles bàsics dels equips de fabricació de semiconductors, les peces de quars per a fotolitografia han de complir tres estàndards estrictes alhora: transmitància del material > 99,6%, tolerància dimensional ± 10 μm i rugositat de la paret lateral Ra < 150 nm. El mètode de processament tradicional utilitza el procés de mòlta de la mola, que té dos problemes principals de la indústria:
Coll d'ampolla d'eficiència: el processament d'una-peça triga fins a 120 minuts
Defectes superficials: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Pèrdua d'eina: la vida de l'eina ordinària és inferior a 50 peces
BISHENsolucions innovació tecnològica
Ateses les característiques dures i trencadisses dels materials de quars, un compostsolució de processaments'adopta:
• Sistema ultrasònic de gravat i fresat de precisió de 20 kHz
• Fresa micro-PCD integral (vora R0,05 mm)
• Procés de tall en capes axials (2μm per capa)
Comparació dels avantatges de processament mesurats
Mitjançant la verificació i la comparació de processos, s'han millorat significativament els indicadors clau:
Valor d'aplicació de la indústria
Aquesta solució va resoldre amb èxit el problema de processament del "coll d'ampolla" en el procés de localització de peces de màquines de litografia, augmentant la capacitat de producció de substrat de quars de 10 peces per dia a 50 peces i la taxa de qualificació de processament del 63% al 98,5%. Segons la detecció de l'interferòmetre làser Zeiss, el valor PV de precisió de la superfície de processament és<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
SobreBISHEN
Bishen Precisiós'especialitza en el processament de peces de maquinari de precisió, amb 7.500 metres quadrats de tallers estandarditzats, i els seus serveis cobreixen aeroespacial, equipament mèdic, robots industrials i altres camps. Amb la capacitat de processar peces estructurals complexes i la certificació del sistema ISO, ofereix als clients solucions completes de procés-des del disseny i desenvolupament fins a la producció en massa.
