Anàlisi de l'objecte de processament
Material: vidre de quars de grau òptic
Característiques de processament: rectificat de contorns de múltiples-superfícies (incloent 3 facetes asimètriques)
Dimensions clau: 16 × 16 × 10 mm (error ± 0,002 mm)
Aquest prisma de quars, que només té la mida d'una ungla, és l'element de guia-de llum central del sistema òptic d'una màquina de litografia-domèstica de gamma alta. Les seves 8 superfícies corbes complexes han d'aconseguir un 99,6% de transmitància i una precisió de refracció a nivell nanomètric-, i la rugositat de la superfície afecta directament la resolució d'exposició de la màquina de litografia.
Punts de dolor de la indústria i dificultats tècniques
Una empresa de tecnologia òptica es va trobar amb un coll d'ampolla en el processament de prismes de quars en promoure la localització de màquines de litografia:
Defectes de mòlta tradicionals: La rugositat després del polit manual encara arriba als 120 nm, el que resulta en una pèrdua de dispersió de la llum del 15%
Dependència de l'equip de les importacions: el cost d'una sola trituradora d'ultra-precisió japonesa supera els 20 milions de iuans i el termini de lliurament és de fins a 18 mesos.
Crisi de rendiment: Només 32 del primer lot de 500 produccions de prova van complir els estàndards, arrossegant seriosament el progrés del projecte
El dilema de "no es pot permetre l'equipament importat i els processos nacionals no són bons" va bloquejar directament el procés de desenvolupament de màquines de litografia independent.
BISHENsolució de solucions
En resposta als requisits d'extrema precisió dels components òptics, l'equip tècnic de BISHEN ha desenvolupat una investigació i desenvolupament innovadors:
1. Sistema de processament d'enllaços verticals ultrasònics de cinc -eixos
Compensació dinàmica de nivell de 2. 0.1μm-, control precís de màquines-eina d'enllaç de 18 eixos
3. Coincidència de programació intel·ligent CAD/CAM de superfície asimètrica
4. Tecnologia de trituració assistida per ultrasons d'alta-freqüència
5. 40La vibració ultrasònica kHz redueix el 52% de l'estrès de tall i evita microesquerdes de quars
6. La vida útil de la mola de micro-pols de diamant s'allarga 3 vegades
Salt de rendiment mesurat real
S'han aconseguit tres grans avenços en la producció en massa d'un determinat tipus de prisma de màquina de litografia domèstica:
1.Qualitat superficial: Rugositat Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Eficiència del processament: les hores de treball d'una sola -peça es comprimeixen de 14 hores a 3,5 hores
3. Control de costos: la inversió en equip és només 1/5 de la solució importada
La taxa de rendiment del primer lot de 3.000 productes va augmentar fins al 98,7%, ajudant els clients a completar el muntatge de prototips 6 mesos abans del previst.
SobreBISHEN
BISHENPrecision Technology (fundada el 2017) se centra a trencar la tecnologia "coll d'ampolla" en el camp de la fabricació-de gamma alta. Ha construït una fàbrica digital de 7.500 metres quadrats a Dongguan, equipada amb grups d'equips importats, com ara centres de mecanitzat d'enllaç de cinc eixos i rectificadores òptiques d'ultra-precisió. Mitjançant l'aplicació de tecnologies innovadores com el mecanitzat per ultrasons i el tall criogènic a equips de semiconductors, instruments optoelectrònics i altres camps, ha proporcionat solucions clau de processament de peces per a més de 20 empreses nacionals de la cadena de màquines de litografia i ha lliurat més de 500.000 components òptics de precisió.
