En el camp de la fabricació de semiconductors de tercera-generació, les safates i els mandrils d'hòsties de carbur de silici s'han convertit en components clau insubstituïbles a causa de la seva resistència a la corrosió i la seva elevada conductivitat tèrmica. Tanmateix, els problemes de la indústria exposats durant el seu processament han afectat durant molt de temps les empreses de fabricació de precisió.
Cas de processament típic
Un projecte de processament de safates d'hòsties de carbur de silici dut a terme per una determinada empresa requereix la finalització de la mòlta de l'estructura de la cavitat i la ranura de les peces de treball D380x5mm. La duresa d'aquest material arriba a HV2.002, que és propera a 1/3 de la duresa del diamant natural. Els problemes freqüents de col·lapse de les vores durant el processament van donar lloc a una taxa de superació inferior al 60%, i les eines tradicionals es van desballestar en 159 minuts i el processament d'una sola peça va trigar fins a 888 minuts.
Punts de dolor en el processament industrial
Els materials SiC s'enfronten a tres grans reptes en el processament tradicional a causa de la seva alta duresa i fragilitat:
La taxa de trencament de les vores de la peça supera el 35%
La taxa de desgast de l'eina és 3-5 vegades superior a la dels materials convencionals
La precisió del control de la rugositat de la superfície de ± 0,5 μm és difícil de mantenir de manera estable
BISHENpràctica d'innovació de solucions
En resposta a les necessitats especials del processament de carbur de silici, l'equip tècnic de BISHEN va implementar una innovació de procés en tres-etapes:
• Presentació d'un sistema de processament assistit per vibració ultrasònica de 20 kHz
• Personalització d'una fresa micro-PCD integral (angle R de vora 0,02 mm)
• Desenvolupament d'un algorisme d'ajust dinàmic adaptatiu dels paràmetres de tall
Resultats de l'actualització del procés
Les dades de producció després de la transformació de l'equip mostren:
1. La taxa de xip ha baixat a menys del 8%
2.El temps de processament d'una sola peça s'ha optimitzat a 462 minuts
3.La vida útil de l'eina ha superat els 317 minuts
4.La rugositat de la superfície es controla de manera estable a Ra0.4μm
